คำอธิบายรายละเอียดของเซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนแบบกระจาย

เซ็นเซอร์ความดันเป็นเซ็นเซอร์ความดันชนิดหนึ่งที่สามารถใช้ในเหล็กกล้าเคมีและสนามอื่น ๆ เพื่อวัดความดันและสามารถตระหนักถึงการควบคุมแรงดันอัตโนมัติเมื่อใช้ร่วมกับตัวควบคุมความดัน

เซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนการแพร่กระจาย /การแนะนำหลักการ

เซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนแบบแพร่กระจายขึ้นอยู่กับหลักการของเอฟเฟกต์ piezoresistive โดยใช้เทคโนโลยีกระบวนการแบบบูรณาการผ่านการเติมและการแพร่กระจายไปตามทิศทางคริสตัลที่มีลักษณะเฉพาะบนเวเฟอร์ซิลิกอนคริสตัลเดี่ยวเพื่อสร้างความต้านทานต่อความเครียด การตรวจจับการตรวจจับแรงและการตรวจจับการแปลงไฟฟ้าถูกประดิษฐ์ขึ้น

ความดันของเซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนแบบกระจายทำหน้าที่โดยตรงบนไดอะแฟรมของเซ็นเซอร์ (สแตนเลสหรือเซรามิก) ทำให้ไดอะแฟรมสร้างสัดส่วนการกระจัดขนาดเล็กกับความดันของสื่อและค่าความต้านทานของการเปลี่ยนแปลงเซ็นเซอร์ วงจรอิเล็กทรอนิกส์ตรวจพบการเปลี่ยนแปลงนี้และแปลงมัน สัญญาณการวัดมาตรฐานที่สอดคล้องกับความดันนี้คือเอาต์พุต

คุณสมบัติเซ็นเซอร์ความดันซิลิคอนการแพร่กระจาย

1. เหมาะสำหรับการสร้างเครื่องส่งสัญญาณขนาดเล็ก

ผล piezoresistive ของตัวต้านทานแรงไวต่อแรงของชิปซิลิกอนไม่มีโซนตายในช่วงต่ำใกล้จุดศูนย์และช่วงของเซ็นเซอร์ความดันอาจมีขนาดเล็กเท่ากับ KPA หลายตัว

2. ความไวของเอาท์พุทสูง

ปัจจัยความไวของความต้านทานความเครียดซิลิคอนคือ 50 ถึง 100 เท่าของมาตรวัดความเครียดโลหะดังนั้นความไวของเซ็นเซอร์ที่สอดคล้องกันจึงสูงมากและช่วงการส่งออกทั่วไปประมาณ 100mV ดังนั้นจึงไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับวงจรอินเตอร์เฟสและสะดวกกว่าที่จะใช้

3. ความแม่นยำสูง

เนื่องจากการตรวจจับการแปลงที่ละเอียดอ่อนและการตรวจจับเซ็นเซอร์จะรับรู้โดยส่วนประกอบเดียวกันจึงไม่มีการเชื่อมโยงการแปลงระดับกลางและข้อผิดพลาดการทำซ้ำและการเกิด hysteresis มีขนาดเล็ก เนื่องจากซิลิคอน monocrystalline นั้นมีความแข็งแกร่งสูงและการเสียรูปเล็ก ๆ จึงทำให้มั่นใจได้ว่าเป็นเส้นตรงที่ดี

4. เนื่องจากการเสียรูปแบบ unisexual ของงานอยู่ในระดับต่ำเท่ากับลำดับของไมโครสเตรตการกระจัดสูงสุดของชิปยืดหยุ่นอยู่ในลำดับของไมครอนย่อยดังนั้นจึงไม่มีการสึกหรอไม่มีความเหนื่อยล้า

5. เนื่องจากความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีที่ยอดเยี่ยมของซิลิคอนแม้กระทั่งเซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนที่ไม่ได้แยกออกจากกันก็มีความสามารถในการปรับให้เข้ากับสื่อต่างๆในระดับที่มาก

6. เนื่องจากชิปใช้กระบวนการแบบบูรณาการและไม่มีส่วนประกอบการส่งสัญญาณจึงมีขนาดเล็กและน้ำหนักเบา

ข้อควรระวังในการใช้งานเซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนสำหรับการใช้งาน

1. เมื่อเลือกช่วงที่เกินหรือต่ำเกินไปแอมพลิจูดควรควบคุมภายใน± 30%FS

2. โหมดความดันแบ่งออกเป็นความดันมาตรวัดแรงดันสัมบูรณ์และความดันปิดผนึกซึ่งสามารถเลือกได้อย่างสมเหตุสมผลตามความต้องการ

3. ยืนยันการโอเวอร์โหลดสูงสุดของระบบ การโอเวอร์โหลดสูงสุดของระบบควรน้อยกว่าขีด จำกัด การป้องกันการโอเวอร์โหลดของเซ็นเซอร์มิฉะนั้นจะส่งผลกระทบต่ออายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์และแม้แต่สร้างความเสียหายให้กับผลิตภัณฑ์

4. อย่าแตะไดอะแฟรมด้วยวัตถุแข็งใด ๆ มิฉะนั้นจะทำให้ไดอะแฟรมแตก

5. วัสดุและกระบวนการผลิตแกนความดันลบไม่เหมือนกับความดันบวกดังนั้นแกนความดันลบไม่สามารถแทนที่ด้วยแกนความดันมาตรวัด

6. โปรดตรวจสอบคู่มือการใช้งานอย่างระมัดระวังก่อนการติดตั้งเพื่อหลีกเลี่ยงความเสียหายต่อผลิตภัณฑ์ที่เกิดจากการติดตั้งที่ไม่ถูกต้อง

7. การใช้งานการใช้งานสามารถนำไปสู่อันตรายและการบาดเจ็บส่วนบุคคล

8. แกนกลางถูกดึงออกมาจากตัวเรือนและห้ามมิให้ดึงสายไฟและขาท่อ

แอปพลิเคชันเซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนการแพร่กระจาย

เซ็นเซอร์ความดันซิลิคอนการแพร่กระจายส่วนใหญ่ใช้ในระบบควบคุมกระบวนการ, เครื่องมือสอบเทียบความดัน, ระบบไฮดรอลิก, เครื่องมือชีวการแพทย์, ระบบไฮดรอลิกและวาล์ว, การวัดระดับของเหลว, อุปกรณ์ทำความเย็นและอุตสาหกรรมควบคุม HVAC อาจกล่าวได้ว่าทุกอุตสาหกรรมที่มีข้อกำหนดระบบอัตโนมัติสูงอาจใช้เซ็นเซอร์ความดันซิลิกอนแบบกระจาย